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Vacuum Feed Throughs

オーシャンインサイトのVFT真空フィードスルーは、半導体プロセスにおける光学モニタリングや薄膜堆積のエンドポイント検出を含む様々な超高真空光アプリケーションのために光を真空チャンバの中あるいは外に導きます。真空フィードスルー

  • NEMA筐体内および高圧アプリケーションで適切に機能
  • 定格10-10トルの真空度
  • 最高350℃まで動作
  • パフォーマンスを向上させるガラス-金属で覆われた光ファイバ

VFTは、超高真空アプリケーションにおけるVFTのパフォーマンスを向上させる丈夫で斬新な金属-ガラスシールを含んでいます。各VFTは、10-10まで試験され、そして証明されており、350℃までお使いいただけます。

半導体や薄膜プロセスにおけるVFTの実用性に加え、VFTは環境試験、製薬プのロセス、および光学コーティング製造を伴っているアプリケーションに理想的です。VFTはまた、分子線エピタキシおよび化学や物理の蒸着法でご使用いただけ、NEMAエ筐体、グローブボックス、および中圧の装置のための多目的の完璧な挿入用部品です。

VFTの高圧側と低圧側はSMA905コネクタで終結されており、光ファイバとオーシャンインサイトの光源、小型ファイバ光学分光器、およびアクセサリの広範囲な製品群とを簡単に接続させます。

VFTは、真空チャンバの3/8-24の外ねじの穴へねじ止めする、あるいは提供されたナットとワッシャで円滑な穴にボルトで締める事ができます。設置は、21-02スプライスブッシングを使って光ファイバをVFTに取り付けるのと同様に簡単です。オプションのアルミニウムジャケットあるいは外装ケーブルの光ファイバアセンブリは、チャンバの低圧側用に推奨されています。

真空フィードスルーは、200、400、600、および1000μm径の光ファイバでご利用いただけます。各VFTには、2つの21-02 SMAスプライスブッシング -- SMA905コネクタを結び合わせるインラインアダプタ -- が付属しています。

アイテム 説明
VFT-200-SR 200 μm 耐ソラリゼーションファイバ
VFT-200-VIS 200 μm 可視-近赤外ファイバ
VFT-400-SR 400 μm 耐ソラリゼーションファイバ
VFT-400-VIS 400 μm 可視-近赤外ファイバ
VFT-600-SR 600 μm 耐ソラリゼーションファイバ
VFT-600-VIS 600 μm 可視-近赤外ファイバ
VFT-1000-UV 1000 μm 耐ソラリゼーションファイバ
VFT-1000-VIS 1000 μm 可視-近赤外ファイバ

オーシャンインサイト
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フランジ付き
真空フィードスルー

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