|
|
Thin Film Reference Wafer (本製品は製造中止となりました)
|
シリコンウェハ、あるいは光学レイヤーのようなサブストレートの厚みを測定する場合、オーシャンインサイトのシリコン-二酸化ケイ素(Si-SiO2)のリファレンスウェハをご検討下さい。
オーシャンインサイトのSTEP-WAFER(Si-SiO2ステップウェハ)は径100mmで、5段階の校正された0-500 nmの厚み範囲を持つウェハです。STEP-WAFERは、異なる基板上の薄い透明な層を測定する際のリファレンススタンダードとしてお使いいただくのに理想的です。
|
STEP-WAFERは、シリコン上に二酸化ケイ素が乗った薄いウェハから構成されており、各透明ステップには番号がつけられウェハ表面にエッヂングされています。校正データシート -- ウェハはエリプソメータを使用して校正されています -- は、XとYの位置、ψ、δ、周期(nm)、および膜厚(nm)のような各ステップの情報を含んでいます。
|
オーシャンインサイト
製品に関するお問い
合わせはこちら
角度可変反射
サンプリング
システム
反射ステージ
反射 & 透過
測定用ステージ
|
